◆ 300mm LAM LOADPORT LATCH CYLINDER & LATCH HOLDER
LAM 설비에 들어가는 BLOOKS 사 LOADPORT에 WAFER FOUP OPEN/CLOSE 시 관여하는 LATCH & LATCH 구동 CYLINDER
기존의 SINGLE CYLINDER에서 DUAL CYLINDER로 개조개선 진행 된 제품
OEM CYLINDER 잦은 AIR LEAK로 인하여, 구동 ERROR 발생하여 개발 진행

◆ 300mm LAM He Iso Valve Overhaul
He Iso Line 쪽에 들어가는 Valve Kit으로 C/B 내부 고열 및 구동 마찰로 인하여 Valve 개폐기 내부 O-ring 손상으로 AIR LEAK 발생 및 동작 구동 ERROR발생
그로 인하여, 개폐기 내부 Ovehaul 진행 및 CAP 개조개선 ( 구동 감지 센서에 LED LAMP 장착되어, 육안으로도 센싱 상태 확인 가능) 진행
OEM MAKER VALVE 대비 우수한 비용 절감 효과 및 Valve 구동 여부 육안 확인 가능
자사 전용 JIG 및 He Detector 보유로 Leak Confirm 및 구동 Test 진행 후 빠른 납품 가능 (KIYO E/X , KIYO 45, D/S, F/X 등 다수 모델 가능)